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電子制造廢氣
隨著電子行業(yè)的迅速發(fā)展，電子元件的生產(chǎn)產(chǎn)生的廢氣污染也隨之而來 ，主要是電子產(chǎn)品的表面涂層工藝環(huán)節(jié)所用溶劑型涂料和清洗工藝環(huán)節(jié)所用有機溶劑所致。
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隨著電子行業(yè)的迅速發(fā)展，電子元件的生產(chǎn)產(chǎn)生的廢氣污染也隨之而來 ，主要是電子產(chǎn)品的表面涂層工藝環(huán)節(jié)所用溶劑型涂料和清洗工藝環(huán)節(jié)所用有機溶劑所致。電子行業(yè)常見的VOCs種類有∶ 異丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇單甲醚、苯乙烯等。電子行業(yè)廢氣中含有大量有害物質，如果不對這些廢氣及時處理，有害物質會漂浮于空氣中，對周邊環(huán)境造成污染或危及人的身體健康。
針對電子行業(yè)VOCs排放特點采用相應末端治理技術，主要是吸附法、焚燒法∶
吸附法
預處理+活性炭吸附-脫附+催化燃燒（CO）工藝
附法利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體，吸附劑選擇性高，活性炭屬非極性吸附劑，對非極性化合物有較強的吸附能力，一般可凈化低濃度VOCs；
焚燒法
預處理+沸石轉輪+蓄熱式焚燒爐（RTO）工藝
沸石濃縮轉輪+焚燒方法使用的濃縮輪是一個裝滿吸附劑的旋轉吸輪，廢氣由旋轉輪的上游側進入濃縮輪的吸附區(qū) ，使VOCs得到濃縮，再經(jīng)脫附燃燒處理。
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